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《均匀性设计资料均匀性,处理温度均匀性,热敏电阻,热敏电阻》

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[1-BG130038]  具有经改善的温度均匀性的等离子体反应室部件

[技术摘要]一个对等离子反应室有用的部件包括散热器如温度受到控制的支持构件(22)和被加热构件如加上电功率的喷头电极(20)。喷头电极被周边地固定在支持构件上以便在电极的顶面(30)和支持构件的底面(32)之间围成一个气体分布室。热传输构件(36)在电极和支持构件之间扩展,将来自喷头电极的顶面上的温度上升最高的区域的热量传输到支持构件的底面,以便对在喷头电极上的温度分布进行控制。

[2-BG130038]  改进负温度系数热敏材料均匀性的热处理方法

[技术摘要]本发明改进负温度系数热敏材料均匀性的热处理方法,特征是将经烧结后的负温度系数热敏电阻陶瓷材料切割成厚度为0.2-0.5mm的薄片,以3-10℃/min的升温速度加热到烧结温度,并在此温度保温5-10h,再随炉冷却至室温。经过本发明方法热处理,可有效降低陶瓷材料在烧结过程中引入的不均匀性。与没有经过热处理的陶瓷片相比,由经过本发明方法热处理后的陶瓷片制得的热敏电阻元件阻值在±1%以内的成品率大大提高。

[3-BG130038]  热处理炉中改善处理温度均匀性的旋转样品台装置

[技术摘要]本实用新型公开了一种热处理炉中改善处理温度均匀性的旋转样品台装置,其特征是:有一样品台支撑,样品台支撑上支撑有固定螺杆,固定螺杆该端与电机连接,固定螺杆上装有作为转动盘的法兰。其有益效果为:可应用于处理各类样品。样品中带有风洞的设计,增加了样品在转动过程中转台边缘和中心的温度的均匀性。

[4-BG130038]  一种冷冻室内温度均匀性好的冰箱

[技术摘要]本实用新型公开了一种冷冻室内温度均匀性好的冰箱,包括有上置冷冻室和下置冷藏室双间室,以及压缩机,冷凝管,蒸发管,毛细管等制冷部件,冷冻室胆的顶面、背面、两侧面盘布有蒸发管,蒸发管上粘接有蒸发铝板。蒸发管采用双排管并联弯制。本实用新型冰箱冷冻室内温度均匀性较好,更有利于食物的冷冻储藏,并可降低能耗,可以达到欧州A+级标准。

[5-BG130038]  控制衬底温度均匀性的装置和方法

[技术摘要]提供一种装置和方法,该装置和方法用于在化学气相沉积反应室内提供充分均匀的衬底温度。该方法和装置利用一个基架(110)固定反应室内的衬底(160),以及将多个加温元件(120,130,140)安置成能加热该基架和衬底。衬底高温计(138,139)测量衬底的温度以提供一个表示加工温度的信号。该信号用在反馈回路(151,134,132)中,控制一个或多个加温元件。提供至少两个对准在基架不同区域的基架高温计(126,136,146)。比较来自基架高温计的信号以提供一个不均匀温度的指示。该指示用于一个单独的反馈回路(149,124,122)内,调整其他的加温元件,以保持基架上温度的均匀性。

[6-BG130038]  验证冻干机搁板温度分布均匀性的测温垫系统

[技术摘要]本发明公开了一种验证冻干机搁板温度分布均匀性的测温垫系统。它具有测温垫,测温垫具有聚四氟乙烯层、薄海绵层上、下两层,层间用环氧树脂紧密粘合,测温垫上均匀密布有小孔,并穿有铜—康铜热电偶,铜—康铜热电偶测温端布置在薄海绵层下面,每个热电偶测温端装有一块小磁铁,铜—康铜热电偶统一经测温垫两侧从出线口输出,并通过连接线路与冻干机真空箱的航空插相连,经航空插依次与连接线、接线盒相接。本发明是针对现有搁板温度分布均匀性验证中繁复拆装热电偶所带来的不便以及不利于均匀测温、重复再现等缺点所提出的。测温垫系统材料易得,制作加工简单,方便实用,成本低,使用可靠且对温度均匀性验证测量具有普遍适用性。

[7-BG130038]  在面朝上的湿法处理中提高晶片温度均匀性的设备

[技术摘要]本发明公开了一种用于在无电沉积工艺中控制衬底温度的方法和设备。该设备包括被构造成将衬底支撑在流体扩散构件之上的位置处的沉积单元。加热后流体从流体扩散构件分配并与衬底的背部接触,由此加热衬底。加热后流体从开口分配,用于使整个衬底表面保持恒温。该方法包括按照能够在衬底的整个前侧上产生恒定处理温度的构造,使加热后流体贴着衬底的背部流过扩散构件。

[8-BG130038]  高均匀性负温度系数热敏电阻材料及其制备方法

[技术摘要]本发明涉及一种高均匀性负温度系数热敏电阻材料,其主配方为Mn-Ni-Cu、Mn-Co-Cu、Mn-Co-Ni-Cu、Mn-Co-Fe-Cu、Mn-Co-Ni或Mn-Co-Fe六种体系中的一种,在主配方中加入氧化物CaO、ZnO、SiO2、Al2O3、Fe2O3、MgO、Cr2O3、TiO2、Sb2O3、Bi2O3、SrO、Nb2O5、B2O3至少2种的组合物。本发明还涉及一种高均匀性负温度系数热敏电阻材料的制备方法,包括以下步骤:配料、一次湿磨、烘干、锻烧、二次湿磨、烘干造粒、压锭成型、烧结。其有益效果是,用此法制备的负温度系数热敏电阻材料(即NTCR),具有高均匀性和高重复性,同批料的电阻率均匀性优于±1%,批与批的电阻率误差不超过±2%,B值误差不超过±1%,适用于大批量大规模生产。

[9-BG130038]  热油辊辊面温度均匀性的控制系统

[技术摘要]本发明属于纺织行业热油烘燥设备的一种控制系统。它主要由热油炉、泵、铂热电阻、热油辊、电动比例三通阀、大循环泵、管道组成;在设定条件下,可以形成大循环:热油炉出来的高温载热油经过线路a——b——c——电动比例三通阀(5)——h——大循环泵——i又回到热油炉中,如此循环;也可以形成小循环:高温载热油经过线路d——e——泵——铂热电阻——热油辊(4)——f——g再回到d,如此循环。该控制系统使热油辊温度均匀性极好。

[10-BG130038]  有利于孵化机内温度场的均匀性的控制方法

[技术摘要]有利于孵化机内温度场的均匀性的控制方法,方法为:使孵化机的壳体内有多个风扇和加热管,且将风扇水平地安装在壳体的顶板上。将加热管水平地安装在风扇的下方。将一个由两水平框架上下连接而成的机座安装在壳体内,使上侧的框架上与壳体的顶板联接、下吊装风扇,使加热管担置在下侧的框架上,让毎个风扇的下方对应1~3个加热管,且让风扇与对应加热管之间留有2~4厘米的间隙。本控制方法彻底改进了现有技术中的加热搅拌方式,可使壳体内各点的温度均衡,有效解决了壳体内的温度均衡问题,有利于壳体内温度场的均匀性,壳体内不会形成明显的温度梯度或盲区,这就可以得到最佳的孵化环境,有利于节能和提高孵化质量。

[11-BG130038]  一种高均匀性高稳定性负温度系数热敏材料及其制备方法

[技术摘要]本发明公开了一种高均匀性高稳定性负温度系数热敏材料及其制备方法,所述高均匀性高稳定性负温度系数热敏材料是由Mn3O4、Fe2O3、ZnO、CuO、NiO、C和Al2O3组成,其重量百分比分别为Mn3O4∶Fe2O3∶ZnO∶CuO∶NiO∶C∶Al2O3=42%-47%∶15%-17%∶13%-15%∶17%-18%∶5.0%∶2.5%-3.5%∶0.3%。上述热敏材料的制备方法为:经球磨—造粒—成型—高温烧结陶瓷工艺制成。材料的电阻率为2300Ωcm,B值为3900K,电阻率的分散性小于±0.65%,敏化系数为0.16%-0.17%,是很理想的高均匀性、高稳定性热敏材料,特别适合用于制作高精度测温热敏电阻和特殊用途的热敏电阻。

[12-BG130038]  用于提高衬底内处理均匀性的动态温度背部气体控制

[技术摘要]本发明控制处理过程中沿着衬底控制径向或非径向温度分布,来补偿非均匀的影响,其包括由系统或处理引起的多种非均匀性。通过沿着晶片支撑卡盘(衬底支撑台20、20a)上不同的区域以不同的方式流出背部气体来控制温度,优选动态的控制,以改变沿着晶片的热传导。对支撑台(20、20a)中的多个气体端口(26、26a)进行分组,并且通过不同的阀(32)分别控制流入或流出各组的气体,阀对应于控制器(35),控制器控制每个区域的气体压强以空间的并且优选动态的控制晶片温度,以补偿系统和处理的非均匀性。通过分别动态控制阀(32),通过在不同的气体端口(26、26a)处分别控制背部气体压强来改变晶片变形,以控制施加到衬底背部的局部力,阀改变流向气体端口(26、26a)和环绕气体端口(26、26a)的气体端口(26、26a)的气流。

[13-BG130038]  一种校对真空设备温度均匀性的方法

[技术摘要]本发明公开了属于校对设备温度均匀性技术领域的一种校对真空设备温度均匀性的方法。将测温区划分成小区域;选择一种金属,制备标准试样;将标准试样放置在加热器中待测区域内,抽真空,加热,当观察到标准试样熔化时,读取热电偶示数T1,随后将标准试样冷却;设定升温速率,观察标准试样状态,当标准试样熔化时读取热电偶示数T0;将标准试样放置在其他待测区域内,设定升温速率,读取热电偶读数,得到设备温度偏差。本发明将测温区域划分成若干小区域,然后利用晶体熔点固定这一晶体物理特性,分别测量每个小区域晶体标准试样熔点的方法,提供一种准确校对真空设备温度均匀性的方法。

[14-BG130038]  有利于孵化机内温度场的均匀性的控制装置

[技术摘要]本实用新型涉及一种有利于孵化机内温度场的均匀性的控制装置。结构为:孵化机的壳体内有多个风扇和加热管,风扇水平地安装在壳体的顶板上。加热管水平地安装在风扇的下方。壳体内安装有由两水平框架上下连接而成的机座,上侧的框架上与壳体的顶板联接、下吊装风扇,加热管担置在下侧的框架上,每个风扇的下方至少对应一加热管,且风扇与对应加热管之间留有间隙。本控制装置可使壳体内各点的温度均衡,有效解决了壳体内的温度均衡问题,有利于壳体内温度场的均匀性,壳体内不会形成明显的温度梯度或盲区,这就可以得到最佳的孵化环境,有利于节能和提高孵化质量。

[15-BG130038]  温度均匀性测试台

[技术摘要]本实用新型涉及一种温度均匀性测试台,包括外壳,分别由紧固螺栓固定在外壳上的定位板、凸台状控温平台和支架,定位板和凸台状控温平台之间自下至上有水套和控温致冷组件;水套的上面紧贴控温致冷组件的热面,控温致冷组件的冷面紧贴控温平台的下面;支架上有螺纹上下移动的支座,支座上端为螺杆状、下端为侧面带有螺纹孔的空心体,螺纹孔上配有与控温平台接触带有热偶的测温螺杆;支座中心处有与控温平台接触的热偶。采用测温螺杆同支座一起在支架上螺纹上下移动,测温螺杆在支座上水平螺纹移动,实现了多点同时测温,准确筛选并剔除掉焊点不牢固的电偶对,有效防止因电偶对焊点不牢固造成温差电致冷组件失效带来无法挽回的损失。


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